一、请确保任何时间、任何情况下，禁止眼睛直视激光射线，即使佩戴了激光防 护镜，亦不可直视激光发射口。
二、除非得到允许，非实验室人员不得进入激光器正在运作的房间或者激光工作区域。
三、搭建实验平台时，在激光发射口高度会有一个“工作平面”，在激光工作中请勿将头部接近这个工作平面。请勿使激光发射口及反射镜上扬。
四、有些激光工作时会发射人眼不可见的红外、紫外光，切勿认为激光器发生故障而去用眼睛检查，在检查激光器时一定确保激光器处于断电情况下。
五、对于不可见的红外激光束，实验者更应了解实验的光路布局，并避免使自己的头部保持在激光束高度所在的水平面内。
六、使用激光时，实验人员应从身上除去任何带有闪亮表面的物体，如饰物、手表与徽章等。长头发需扎好带好实验帽。
七、清洗基片所用材料一般为易燃、腐蚀或带有刺激气味的液体，操作是需要带橡胶手套、口罩等进行防护。
八、利用匀胶机进行甩胶时需要严格按照操作规则。光刻胶带有轻微刺激性气味，且有微毒，需要戴口罩或防毒面具进行防护。
九、使用激光进行曝光时，应佩戴好相应波长的激光防护镜，以保护眼部不受到激光的威胁。
十、显影液一般为强碱性溶液，操作时需带手套并用镊子进行操作。
十一、实验结束后，清洗基片的废液应妥善处理。按操作要求关闭激光器。
